Вакуумното покритие удължава живота на консумативите в полупроводниковата индустрия и намалява времето за престой на камерата.Материалите за покритие варират от разтопен силициев диоксид до стабилизиран с итрий цирконий, а покритията са оптически чисти и химически инертни.Всичко това означава по-ниски разходи за притежание чрез синхронизиране на циклите на поддръжка.
Време на публикуване: 16 юни 2022 г